半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是構(gòu)建我國(guó)戰(zhàn)略科技力量自立自強(qiáng)的核心支撐產(chǎn)業(yè)，而半導(dǎo)體零部件則是決定我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的關(guān)鍵領(lǐng)域。盡管當(dāng)前我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)處于加速發(fā)展階段，但國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)仍面臨著國(guó)產(chǎn)化率低下，產(chǎn)業(yè)長(zhǎng)期支持和投入力度不足，企業(yè)自主創(chuàng)新能力薄弱，產(chǎn)業(yè)上下游聯(lián)動(dòng)合作不暢，人才培養(yǎng)和激勵(lì)機(jī)制缺失等諸多問題。本文將全面梳理全球半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展特點(diǎn)和重點(diǎn)企業(yè)，研究國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)規(guī)模和發(fā)展格局，并針對(duì)目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)面臨的主要問題，提出相關(guān)發(fā)展建議。

    半導(dǎo)體零部件是指在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等性能方面達(dá)到了半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)要求的零部件，如O-Ring密封圈、EFEM (傳送模塊)、RF Gen射頻電源、ESC靜電吸盤、Si硅環(huán)等結(jié)構(gòu)件、Pump真空泵、MFC氣體流量計(jì)、精密軸承、ShowerHead氣體噴淋頭等。半導(dǎo)體設(shè)備由成千上萬的零部件組成，零部件的性能、質(zhì)量和精度直接決定著設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性，也是我國(guó)在半導(dǎo)體制造能力上向高端化躍升的關(guān)鍵基礎(chǔ)要素。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)起步較晚，我國(guó)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)總體水平偏低，高端產(chǎn)品供給能力不足，產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性和一致性較差的問題日益凸顯。在全球宏觀政治經(jīng)濟(jì)日益復(fù)雜，美國(guó)不斷打壓遏制我國(guó)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略崛起的背景下，產(chǎn)業(yè)被“卡脖子”的現(xiàn)象較為突出，這不僅嚴(yán)重制約我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高級(jí)化高端化發(fā)展，同時(shí)對(duì)我國(guó)數(shù)字經(jīng)濟(jì)、民生經(jīng)濟(jì)和國(guó)防安全也帶來不可低估的風(fēng)險(xiǎn)。

半導(dǎo)體零部件主要分類和主要特點(diǎn)

（1）半導(dǎo)體零部件主要分類

半導(dǎo)體零部件是半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵構(gòu)成，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，目前行業(yè)里關(guān)于半導(dǎo)體零部件的種類劃分尚未形成標(biāo)準(zhǔn)，目前主要有以下幾種分類方法。

按照典型集成電路設(shè)備腔體內(nèi)部流程來分，零部件可以分為五大類：電源和射頻控制類、氣體輸送類、真空控制類、溫度控制類、傳送裝置類。其中電源和射頻控制類包括射頻發(fā)生器和匹配器、直流/交流電源等。氣體輸送類主要包括流量控制器、氣動(dòng)部件、氣體過濾器等。真空控制類包括干泵/冷泵/分子泵等各種真空泵、控制閥/鐘擺閥等各類閥件、壓力計(jì)以及O-Ring密封圈。溫度控制類則包括加熱盤/靜電吸盤、熱交換器及升降組件。傳送裝置類包括機(jī)械手臂、EFEM、軸承、精密軌道、步進(jìn)馬達(dá)等。

按照半導(dǎo)體零部件的主要材料和使用功能來分，可以將其分為十二大類，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金屬件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、過濾部件、運(yùn)動(dòng)部件、電控部件以及其他部件。其中各大類零部件還包括若干細(xì)分產(chǎn)品，例如在真空件里就包括真空規(guī)（測(cè)量工藝真空）、真空壓力計(jì)、氣體流量計(jì)（MFC）、真空閥件、真空泵等多種關(guān)鍵零部件。

按照半導(dǎo)體零部件服務(wù)對(duì)象來分，半導(dǎo)體核心零部件可以分為兩種，即精密機(jī)加件和通用外購(gòu)件 [1]。精密機(jī)加件通常由各個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備公司的工程師自行設(shè)計(jì)，然后委外加工，只會(huì)用于自己公司的設(shè)備上，如工藝腔室、傳輸腔室等，國(guó)產(chǎn)化相對(duì)容易，一般對(duì)其表面處理、精密機(jī)加工等工藝技術(shù)的要求較高；通用外購(gòu)件則是一些經(jīng)過長(zhǎng)時(shí)間驗(yàn)證，得到眾多設(shè)備廠和制造廠廣泛認(rèn)可的通用零部件，更加具有標(biāo)準(zhǔn)化，會(huì)被不同的設(shè)備公司使用，也會(huì)被作為產(chǎn)線上的備件耗材來使用，例如硅結(jié)構(gòu)件、O-Ring密封圈、閥門、規(guī)（Gauge）、泵、Face plate、氣體噴淋頭Shower head等，由于這類部件具備較強(qiáng)的通用性和一致性，并且需要得到設(shè)備、制造產(chǎn)線上的認(rèn)證，因此國(guó)產(chǎn)化難度較高。